Тетраэтилортосиликат марки Е

Вес молекулы

208.33

CAS нет.

78-10-4

Физические свойства

Бесцветная прозрачная жидкость

Точка плавления: -77 ℃,

Точка кипения: 169 ℃,

Плотность: 0,93 г / мл.

Стабильный в воде; небольшой растворимый в воде и гидролизе в чистой воде, гидролизуется быстрее в кислотах и ​​основах.

Приложения

Он в основном используется в процессе химического паров (CVD) во время производства вафли и реагирует с O2 / O3 / N2O с образованием пленок диоксида кремния. Это важное электронное химическое вещество, необходимое для изготовления полупроводников, дискретных устройств и микроэлектромеханических систем (MEMS)

Чистота () Мин

99.999999 (8n)

锰 (Mn) Макс

0,1 PPB.

铝 (al) Макс

0.2PBB.

钼 (мо) макс

0,1 PPB.

银 (AG) Макс

0,1 PPB.

钠 (Na) Макс

0,5 PPB.

砷 (как) Макс

0,4 PPB.

铌 (NB) Макс

0,1 PPB.

金 (au) Макс

0,1 PPB.

镍 (Ni) Макс

0,2 PPB.

硼 (б) Макс

0,5 PPB.

铅 (PB) Макс

0,1 PPB.

钡 (BA) Макс

0,1 PPB.

锑 (SB) Макс

0,1 PPB.

铍 (будь) макс

0,1 PPB.

锡 (Sn) Макс

0,2 PPB.

铋 (Bi) Макс

0,1 PPB.

锶 (SR) Макс

0,1 PPB.

钙 (CA) Макс

0,5 PPB.

钍 (TH) Макс

0,1 PPB.

镉 (CD) Макс

0,1 PPB.

钨 (w) Макс

0,1 PPB.

钛 (Ti) Макс

0,1 PPB.

锌 (Zn) Макс

0,2 PPB.

铀 (U) Макс

0,1 PPB.

Cl- max.

0.5ppm.

钒 (v) max

0,1 PPB.

Вода макс

5ppm

钴 (CO) Макс

0,4 PPB.

Этанол Макс

3ppm

铜 (CU) Макс

0,2 PPB.

Частица ≥0,1 мкм Макс

50p / мл

铬 (CR) Макс

0,2 PPB.

Частица≥0,2 мкм Макс

30P / мл

铁 (fe) Макс

0,2 PPB.

частица ≥0,3 мкм Макс

20p / мл

锆 (ZR) Макс

0,1 PPB.

Частица ≥0,5 мкм Макс

10P / мл

镓 (GA) Макс

0,4 PPB.

Частица≥1,0 мкм Макс

3P / мл

汞 (HG) Макс

0,3 PPB.

Хромаливость макс

10apha

钾 (k) макс

0,2 PPB.

Основное содержание() Мин

99.99

锂 (Li) Макс

0,1 PPB.

Появление

Бесцветная прозрачная жидкость

镁 (мг) Макс

0,5 PPB.

Срок годности

24 месяца